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高端电子工艺配备

【1】集成电路配备

财产先容:电控公司的集成电路配备以七星电子(北方微)(A股代码:002371)为载体,借助上市平台和国度庞大科技专项放慢财产成长,产物以集成电路装备为主,并分离市场需求背光伏、进步前辈封装、LED、MEMS、光波导、功率器件和化合物半导体等应用领域拓展。七星电子(北方微)前后承当11项国度庞大科技02专项,技术水平快速提拔,弥补了海内12英寸高端刻蚀机、PVD、CVD、氧化炉、洗濯机等装备技能空缺,大部分产物实现了28nm的产业化认证,刻蚀机、PVD已开端14nm技能的研发。技能本领到达同技能代国际支流配备程度。

 

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12英寸28nm刻蚀机、PVD、氧化炉等装备均已进入了中芯国际和上海华力海内集成电路制造发军企业年夜生产线,多款产物已成为LED、进步前辈封装、MEMS等泛半导体发的支流产物,市场开辟事情效果明显,刻蚀机产物乐成打入台湾市场。此中12英寸、28nmHardMask PVD装备及12英寸55nm硅刻蚀装备已作为中芯国际的Baseline装备,代表了海内装备的最高水平。

紧张产物:刻蚀装备(Etch)、化学气相堆积装备(CVD)、物理气相堆积装备(PVD)立式炉、LPCVD、超精密洗濯机、ALD装备。

 

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【2】锂电配备

北京电控可供给全套的锂离子电池极片出产所需的搅拌、涂布、辊压、分切装备,技能处于海内抢先程度,靠近国际同期程度。

 

乐成研制年夜容量的(400L、600L、800L、1000L、2000L)搅拌装备,已把握主动上料技能、搅拌历程程序化节制、搅拌料评价等技能;乐成开辟出了挤出式涂布设备,涂布速度10-20m/min(最高水平到达30m/min)。乐成开辟出了液压伺服辊压装备,极片轧制速度到达20-30m/min(最高水平到达60m/min),把握了极片热轧技能、辊电镀技能、AGC液压伺服节制型等核心技术。

 

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分切装备可分切卷材宽度达700mm,出产服从到达50m/min(最高水平到达80m/min),并开辟了装备CCD测控体系(海内独一)低落了产物废品率。于此同时,乐成的搭建了20000Ah锂离子动力电池中试线,为自产装备供给了工艺考证平台,具有供给整线解决方案的本领。